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拉伸金剛石打造下一代微電子器件

中國科學(xué)報 2021-01-04 作者:唐一塵

  中國香港城市大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)和美國麻省理工學(xué)院等機構(gòu)研究人員,首次使用納米力學(xué)方法,實現(xiàn)了微晶金剛石陣列的大而均勻的拉伸彈性應(yīng)變。該發(fā)現(xiàn)顯示了金剛石作為微電子學(xué)、光子學(xué)和量子信息技術(shù)中高級功能器件的主要候選材料的潛力。相關(guān)論文近日刊登于《科學(xué)》

  “這是第一次通過拉伸實驗顯示金剛石具有極大的均勻彈性。我們的發(fā)現(xiàn)證明了通過微加工金剛石結(jié)構(gòu)的‘深層彈性應(yīng)變工程’開發(fā)電子設(shè)備的可能性?!毕愀鄢鞘写髮W(xué)副教授陸洋說。

  金剛石因其超高的導(dǎo)熱性、優(yōu)異的載流子遷移率、高擊穿強度和超寬帶隙而被認(rèn)為是一種高性能的電子和光子材料。然而,由于金剛石的大帶隙和緊湊的晶體結(jié)構(gòu),使得在生產(chǎn)過程中調(diào)制半導(dǎo)體電子性能的常用方法難以實現(xiàn),阻礙了金剛石在電子和光電子器件中的工業(yè)應(yīng)用。一種可能的方法是通過“應(yīng)變工程”,即應(yīng)用非常大的晶格應(yīng)變,改變帶隙結(jié)構(gòu)和相關(guān)的功能性質(zhì)。但由于金剛石具有極高的硬度,這被認(rèn)為是“不可能的”。

  之前,研究人員發(fā)現(xiàn),納米級的鉆石可以在意想不到的大局部應(yīng)變下發(fā)生彈性彎曲。在此基礎(chǔ)上,新研究表明了如何利用這一現(xiàn)象開發(fā)功能性金剛石器件。

  該團隊首先制備了樣品。這些樣品呈橋狀——大約1微米長、300納米寬,兩端更寬。然后,鉆石橋在電子顯微鏡下以控制良好的方式單軸拉伸。在連續(xù)可控的加載—卸載定量拉伸試驗循環(huán)下,金剛石橋在整個試件測量截面上表現(xiàn)出高度均勻的大彈性變形,約為7.5%,而不是彎曲局部的變形。之后,它們恢復(fù)了原來的形狀。

  研究人員對樣品幾何結(jié)構(gòu)進行了進一步優(yōu)化,最大均勻拉伸應(yīng)變達(dá)到9.7%,甚至超過了2018年研究的局部最大值,接近金剛石的理論彈性極限。更重要的是,為了演示應(yīng)變金剛石裝置的概念,該團隊還實現(xiàn)了微晶金剛石陣列的彈性應(yīng)變。

  研究小組隨后進行了計算,以估計彈性應(yīng)變從0到12%對鉆石電子特性的影響。模擬結(jié)果表明,隨著拉伸應(yīng)變的增加,金剛石的帶隙寬度普遍減小,在9%的應(yīng)變下,沿特定晶體取向的帶隙寬度能從5 eV左右減小到3 eV左右。

  專家認(rèn)為,這證明了金剛石的帶隙結(jié)構(gòu)可以改變,更重要的是,這些改變可以是連續(xù)和可逆的,能適合不同的應(yīng)用,從微/納米機電系統(tǒng)到光電和量子技術(shù)。

  相關(guān)論文信息:http://dx.doi.org/10.1126/science.abc4174

責(zé)任編輯:王超

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